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F235x系列 小流量热式质量流量计

产品简介: F235x 系列用于精确测量气体介质的质量流量。该系列设计基于热扩散原理,直接测量质量流量, 无需进行压力、温度补偿。该产品集成了 MEMS (微机电系统)、信号处理、数字仿真等技术;其原理和技术基础保证了 F235x 系列在灵敏度、压力损失、量程比、响应时间和微流量测量方面的优越性能;F235x 系列通过本地显示器显示瞬时流量和累积流量。此外,它还支持远程数据访问的模拟和数字输出
产品特点: 超宽量程比
测量范围: 0.02 … 3000 SLM
量程比: 1 :100
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产品特点
详细参数
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● 基于热扩散原理,不受温度及压力的影响,集成温度测量 ● 传感器基于 CMOS 半导体工艺制成的微机电系统 (MEMS),实现毫米尺寸的高精度测量 ● 超宽的 1:100 量程比,测量下限低至 0.04 SLM(DN3) ● 集成数字化自适应信号处理技术 , 可有效抑制随机误差 ● 全隔离的电气结构彻底滤除干扰 ● 标配 Modbus RTU (RS485) 接口及 4~20 mA 电流
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流量单位及标况条件

介质参数

质量流量的单位规定为


标准状态规定为

SCCM ( 标准毫升 / 分 )

SLM( 标准升 / 分 )

20 °C,1 bar(a) - ISO 1217 ( 可编辑 )

适用介质


气体压力

气体温度

空气、氧气、氮气、氢气、氩气、氦气、硅烷、氨气、三氯氧磷、三氟化氮,或其他气体

<1.6 Mpa

-20 ... 60 °C

性能参数

通讯

测量范围

测量精度

重复性

灵敏度

零漂

响应时间

耐压

压损

参考流量范围表

± 1.5% F.S.

< 0.25% F.S.

< 0.1% F.S.

< 0.1% F.S.

< 20 ms

1.6 MPa

3 kPa ( 满量程 )

模拟输出

数字输出

连接

4 ... 20 mA

Modbus RTU RS485

引线连接

机械参数

材料

过程连接

尺寸

重量

防护等级

参考产品尺寸

表参考产品尺寸表

< 1.0 kg

IP54

流道

密封

接头


SUS304 或 SUS316L

氟橡胶,三元乙丙橡胶,定制

SUS304 或 SUS316L



电气参数



电源

功耗

连接

DC 24V

< 48 mW

引线连接

Leaflet_F235x_Mass Flowmeter_FIX_CN_2024-V3.10.pdf
2.19MB下载
IM_F235x_Mass Flow Meter_FIX_CN_2023_V3.01.pdf_FIX_CN_2023_V1.01.pdf
1.26MB下载

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